著者典拠情報

標目形：
式田, 光宏(1964-)||シキダ, ミツヒロ
属性：
Personal
日付：
1964-
注記：
名古屋大学エコトピア科学研究所環境システム・リサイクル科学研究部門・助教授
SRC:能動型アレイ状マイクロセンシングシステムに関する研究 / 式田光宏 [ほか著] ([出版者不明], 2005.3)
著者典拠ID：
DA15230682


1.

図書
図書
1. マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術. 普及版
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2016.3
シリーズ名: CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
所蔵情報: loading…
2.

図書
図書
2. マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2009.10
所蔵情報: loading…