著者典拠情報

標目形：
土肥, 俊郎||ドイ, トシロウ
属性：
Personal
注記：
SRC:応用技術 / 土肥俊郎編集委員長(フジ・テクノシステム, 1996.2)により典拠作成. 第4巻編集委員の記述: 埼玉大学教育学部機械技術研究室助教授
標目のよみは「半導体平坦化CMP技術」(工業調査会, 1998.7)奥付より
著者典拠ID：
DA0989397X


1.

図書
図書
1. 詳説半導体CMP技術
土肥俊郎編著
出版情報: 東京 : 工業調査会, 2001.1
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2.

図書
図書
2. 応用技術
土肥俊郎編集委員長
出版情報: 東京 : フジ・テクノシステム, 1996.2
シリーズ名: 超精密生産技術大系 / 河西敏雄編集代表 ; 第4巻
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