反応性スパッタ法によるZn3N2薄膜の作製とその特性評価 | 群馬大学図書館 OPAC

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反応性スパッタ法によるZn3N2薄膜の作製とその特性評価

フォーマット:: 学位論文
責任表示:: 設楽, 知彰
言語:: 日本語
出版情報:: 群馬大学工学研究科, 2014-03
著者名:: 設楽, 知彰
開始ページ:: 1
終了ページ:: 40
バージョン:: AM
概要:: Thesis or Dissertation<br />修士論文

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詳細

主題:	Zn3N2薄膜; 反応性スパッタ法
受理日:	2014-03
URL:	http://hdl.handle.net/10087/8726

内容紹介

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