1.

図書
図書
1. 真空科学ハンドブック
日本真空学会編
出版情報: 東京 : コロナ社, 2018.3
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2.

図書
図書
2. マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術
吉村長光著
出版情報: 東京 : エヌ・ティー・エス, 2003.12
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