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適応同定と予測制御を用いた半導体製造用超精密ステージの高速・高応答制御手法

フォーマット:
学位論文
責任表示:
五箇, 成輝
言語:
日本語
出版情報:
群馬大学工学研究科, 2008-03
著者名:
五箇, 成輝  
開始ページ:
1
終了ページ:
103
バージョン:
AM
概要:
Thesis or Dissertation<br />修士論文
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1 学位論文 アクティブ除振台と超精密ステージの統合化設計法に関する研究

小沼, 美穂

群馬大学工学研究科
7 図書 計測・制御差動トランスとその応用

西口, 譲

オーム社
2 学位論文 非線形システム同定法の精密ステージ制御への応用

小島, 侑一郎

群馬大学工学研究科
8 図書 自動制御の基礎と応用

高井, 宏幸(1921-1972), 長谷川, 健介(1930-)

実教出版
3 図書 社会とシステム論 : 情報と応答・制御の機構

杉田, 元宜(1905-)

みすず書房
9 図書 応用気象論 : 順応から気象の制御へ

高橋, 浩一郎(1913-1991)

岩波書店
4 学位論文 時間・空間分解能制約を考慮した制御系設計による精密ステージの制御

陳, 増銀

群馬大学工学研究科
10 図書 精密制御用ニューアクチュエータ便覧

日本工業技術振興協会固体アクチュエータ研究部会, 内野, 研二(1950-), 高橋, 貞行

フジ・テクノシステム
5 学位論文 学習理論による精密ステージの高性能制御法と物理パラメータ推定法

渡部, 弘基

群馬大学工学研究科
11 図書 計測制御用BASICインタプリタ

石川, 勝(1951-)

工学図書
6 図書 モデル予測制御 : PFC(Predictive Functional Control)の原理と応用

Richalet, Jacques, 江口, 元, 小崎, 恭寿男

日本工業出版
12 図書 計測制御回路

野村, 民也(1923-)

日刊工業新聞社