1.

図書

図書
壇良編著
出版情報: 東京 : 産業図書, 1988.3
シリーズ名: 集積回路プロセス技術シリーズ
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2.

図書

図書
西澤潤一編
出版情報: 東京 : 工業調査会, 1987.8-
シリーズ名: 半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 26, 28, 30, 32, 34, 36, 38, 40-46巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 11-24
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3.

図書

図書
菅野卓雄, 生駒俊明, 武石喜幸著
出版情報: 東京 : 岩波書店, 1985.7
シリーズ名: 岩波講座マイクロエレクトロニクス / 元岡達 [ほか] 編 ; 1 . マイクロエレクトロニクス素子 / 菅野卓雄[ほか]著||マイクロ エレクトロニクス ソシ ; 1
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