プラズマイオンプロセスとその応用

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フォーマット:

図書

責任表示:

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編

言語:

日本語

出版情報:

東京 : オーム社, 2005.10

形態:

xi, 279p ; 22cm

著者名:

書誌ID:

BA73952112

ISBN:

9784274201233 [4274201236]

子書誌情報

所蔵情報

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詳細

主題:	イオンビーム加工; プラズマ物理学
分類・件名:	NDC8 : 549.1 NDC9 : 549.1 BSH : イオンビーム加工 BSH : プラズマ物理学
注記:	文献:章末
タイトルのヨミ、その他のヨミ:	プラズマイオンプロセストソノオウヨウ
TTLL:	jpn
著者名ヨミ:	デンキガッカイデンキガッカイプラズマイオンコウドリヨウプロセスチョウサセンモンイインカイ

内容紹介

目次情報

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