バイオマイクロデバイスのための微細加工技術とその応用に関する研究 | 群馬大学図書館 OPAC

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バイオマイクロデバイスのための微細加工技術とその応用に関する研究

フォーマット:: 学位論文
責任表示:: 上野, 秀貴
言語:: 日本語
出版情報:: 群馬大学大学院理工学府, 2019-03-22
著者名:: 上野, 秀貴
バージョン:: VoR
概要:: Thesis or Dissertation<br />学位記番号：理工博甲35

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その他の標題:	Study on microfabrication technology for bio micro device and its applications
主題:	MEMS; バイオマイクロデバイス; 厚膜感光性材料; 微細加工
受理日:	2019-03-22
URL:	http://hdl.handle.net/10087/12708

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