反応性スパッタ法によるZn3N2薄膜の作製とその特性評価

フォーマット:
学位論文(AKAGI収録)
責任表示:
設楽, 知彰
言語:
日本語
出版情報:
群馬大学工学部, 2014-03
著者名:
設楽, 知彰  
開始ページ:
1
終了ページ:
40
バージョン:
author
概要:
修士論文

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