ナノメータスケール加工技術 : 超精密加工への化学的効果の応用

フォーマット:
図書
責任表示:
精密工学会編
言語:
日本語
出版情報:
東京 : 日刊工業新聞社, 1993.8
形態:
ix, 326, vip ; 22cm
著者名:
精密工学会 <DA01151781>  
書誌ID:
BN0963406X
ISBN:
9784526033759 [4526033758]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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