超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術

フォーマット:
図書
責任表示:
大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編
言語:
日本語
出版情報:
吹田 : 大阪大学出版会, 2014.3
形態:
v, 379p : 挿図 ; 21cm
著者名:
書誌ID:
BB15130805
ISBN:
9784872594652 [4872594657]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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