著者典拠情報

標目形：
岡崎, 信次||オカザキ, シンジ
属性：
Personal
注記：
SRC:はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著 (工業調査会, 2003.6) の奥付頁による
2002年, (株)日立製作所中央研究所 ASET, EUVプロセス技術研究部部長
1994年, 工学博士
著者典拠ID：
DA14057979


1.

図書
図書
1. 半導体微細パターニング : 限界を超えるポスト光リソグラフィ技術
岡崎信次監修
出版情報: 東京 : エヌ・ティー・エス, 2017.4
所蔵情報: loading…
2.

図書
図書
2. はじめての半導体リソグラフィ技術
岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
出版情報: 東京 : 技術評論社, 2012.1
シリーズ名: 現場の即戦力
所蔵情報: loading…