シリコンマイクロ加工の基礎

フォーマット:
図書
責任表示:
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン著 ; 田畑修, 佐藤一雄訳
言語:
日本語
出版情報:
東京 : シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001.12
形態:
xi, 431p ; 27cm
著者名:
書誌ID:
BA54870462
ISBN:
9784431709343 [4431709347]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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1 図書 シリコン集積素子技術の基礎

Burger, Robert M., 1927-, Donovan, R. P., 菅野, 卓雄(1931-)

地人書館
7 図書 マイクロ加工技術

マイクロ加工技術編集委員会

日刊工業新聞社
2 図書 シリコン結晶とドーピング

阿部, 孝夫, 小切間, 正彦, 谷口, 研二(1948-)

丸善
8 図書 マイクロ加工の物理と応用

吉田, 善一(1957-)

裳華房
3 図書 シリコンLSIと化学

伴, 保隆

大日本図書
9 図書 マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

式田, 光宏(1964-), 佐藤, 一雄(1948-), 田中, 浩

シーエムシー出版
4 図書 シリコン系ヘテロデバイス

雨宮, 好仁, 古川, 静二郎(1934-)

丸善
10 図書 マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

式田, 光宏(1964-), 佐藤, 一雄(1948-), 田中, 浩

シーエムシー出版
5 図書 シリコンフォトニクス : 先端光テクノロジーの新展開

金光, 義彦(1958-), 深津, 晋(1960-)

オーム社
11 図書 やさしいマイクロ加工技術

増沢, 隆久

日刊工業新聞社
6 図書 21世紀の半導体シリコン産業 : 技術開発と市場展望

高田, 清司, 小松崎, 靖男

工業調査会
12 図書 変貌する高齢社会の現場 : テレビ・ディレクターの報告

河畠, 修(1935-)

ミネルヴァ書房