1.

図書
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1. マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術. 普及版
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2016.3
シリーズ名: CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
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2.

図書
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2. 超精密加工と表面科学 : 原子レベルの生産技術
大阪大学グローバルCOEプログラム高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点, 精密工学会超精密加工専門委員会編
出版情報: 吹田 : 大阪大学出版会, 2014.3
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3.

図書
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3. 固体表面の濡れ性 : 超親水性から超撥水性まで
中島章著 ; 日本化学会編
出版情報: 東京 : 共立出版, 2014.12
シリーズ名: 化学の要点シリーズ ; 12
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