1.

図書
図書
1. 現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス. 第2版
小島啓安著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 2015.2
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2.

図書
図書
2. 薄膜作成の基礎. 第4版
麻蒔立男著
出版情報: 東京 : 日刊工業新聞社, 2005.7
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