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大気圧低温プラズマジェットにより成膜したアモルファスカーボン膜の特性評価

フォーマット:
学位論文
責任表示:
溝手, 範人
言語:
日本語
出版情報:
群馬大学工学研究科, 2013-03
著者名:
溝手, 範人  
開始ページ:
1
終了ページ:
160
バージョン:
AM
概要:
Thesis or Dissertation<br />学位記番号:工博甲468
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