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ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

フォーマット:: 図書
責任表示:: 岩井洋 [ほか著]
言語:: 日本語
出版情報:: 東京 : エヌ・ティー・エス, 2012.7
形態:: 22, 2, 4, 338, 11p : 挿図 ; 27cm
著者名:: 岩井, 洋
書誌ID:: BB09682498
ISBN:: 9784864690393 [4864690391]

子書誌情報

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その他の標題:	ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜界面の物性科学
主題:	固体電子工学
注記:	著者のヨミは推定による参考・引用文献: 各章末
タイトルのヨミ、その他のヨミ:	ナノエレクトロニクスニオケルゼツエンチョウハクマクギジュツ : セイマクギジュツトマクカイメンノブッセイカガク
その他のタイトルのヨミ、その他のヨミ:	ナノエレクトロニクスニオケルゼツエンチョウハクマクギジュツナノエレクトロニクスニオケルゼツエンチョウハクマクギジュツ : セイマクギジュツトマクカイメンノブッセイカガク
TTLL:	jpn
著者名ヨミ:	イワイ, ヒロシ

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