1.

図書
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1. マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術. 普及版
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2016.3
シリーズ名: CMCテクニカルライブラリー ; 570 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ
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2.

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2. マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修
出版情報: 東京 : シーエムシー出版, 2009.10
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3.

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3. シリコンマイクロ加工の基礎
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン著 ; 田畑修, 佐藤一雄訳
出版情報: 東京 : シュプリンガー・フェアラーク東京, 2001.12
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