イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン(等)

フォーマット:

図書

責任表示:

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員

言語:

日本語

出版情報:

枚方 : イオン工学研究所
東京 : 日刊工業新聞社 (発売), 2004.10

形態:

xviii, 1126p ; 27cm

著者名:

平尾, 孝 <DA0549966X>

岩本, 信也 <DA04797119>

尾浦, 憲治郎(1941-) <DA14067214>

鯉沼, 秀臣 <DA07721055>

笹部, 馨

松波, 弘之(1939-) <DA01850066>

水野, 博之 <DA00719452>

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書誌ID:

BA69821835

ISBN:

9784526053801 [4526053805]