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検索結果: 2 件

1.

学位論文

学位

1. 反応性スパッタ法によるZn3N2薄膜の作製とその特性評価

設楽, 知彰

出版情報:

pp.1-40, 2014-03. 群馬大学工学研究科

概要: Thesis or Dissertation<br />修士論文

2.

学位論文

学位

2. 反応性スパッタ法によるInON薄膜の作製とその特性

笹岡, 敬

出版情報:

pp.1-47, 2010-03. 群馬大学工学研究科

概要: Thesis or Dissertation<br />修士論文