共スパッタリング法による機能性金属添加 酸化タンタル薄膜の作製とその発光特性の評価

フォーマット:

学位論文

責任表示:

島田, 桂佑

言語:

日本語

出版情報:

群馬大学大学院理工学府, 2017-03

著者名:

島田, 桂佑  

開始ページ:

1

終了ページ:

67

バージョン:

AM

概要:

Thesis or Dissertation<br />修士論文