直流スパッタ法によるアモルファスInGaZnO4薄膜の作製と電気的性質

フォーマット:
学位論文(AKAGI収録)
責任表示:
金田, 健児
言語:
日本語
出版情報:
群馬大学工学部, 2012-03
著者名:
金田, 健児  
開始ページ:
1
終了ページ:
44
バージョン:
author
概要:
修士論文

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