大気圧低温プラズマジェットにより成膜したアモルファスカーボン膜の特性評価

フォーマット:
学位論文(AKAGI収録)
責任表示:
溝手, 範人 ; ミゾテ, ノリヒト ; Mizote, Norihito
言語:
日本語
出版情報:
群馬大学工学部, 2013-03
著者名:
開始ページ:
1
終了ページ:
160
バージョン:
author
概要:
学位記番号:工博甲468

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