ナノエレクトロニクスにおける絶縁超薄膜技術 : 成膜技術と膜・界面の物性科学

フォーマット:
図書
責任表示:
岩井洋 [ほか著]
言語:
日本語
出版情報:
東京 : エヌ・ティー・エス, 2012.7
形態:
22, 2, 4, 338, 11p : 挿図 ; 27cm
著者名:
岩井, 洋  
書誌ID:
BB09682498
ISBN:
9784864690393 [4864690391]  CiNii Books  Webcat Plus  Google Books
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