マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術

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フォーマット:

図書

責任表示:

式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩監修

言語:

日本語

出版情報:

東京 : シーエムシー出版, 2009.10

形態:

ix, 301p ; 27cm

著者名:

書誌ID:

BB00938446

ISBN:

9784781301679 [4781301673]

子書誌情報

所蔵情報

詳細

その他の標題:	新材料・新素材シリーズ Etching for micro/nano fabrication マイクロナノデバイスのエッチング技術
主題:	半導体; 表面(工学)
分類・件名:	NDC9 : 549.8 NDLC : ND371 NDLSH : 半導体 NDLSH : 表面(工学)
注記:	カバージャケットに「新材料・新素材シリーズ」の表示あり
タイトルのヨミ、その他のヨミ:	マイクロナノデバイスノエッチングギジュツ
その他のタイトルのヨミ、その他のヨミ:	シンザイリョウシンソザイシリーズマイクロナノデバイスノエッチングギジュツ
TTLL:	jpn
著者名ヨミ:	シキダ, ミツヒロサトウ, カズオタナカ, ヒロシ

レビュー (Amazon)

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